氟化氢传感器（HF传感器）
电流型3极传感器
极高的选择性
可检测酸性气体
稳定性好
典型应用
TLV-监测
半导体工业，一般工业场所
技术参数
测量范围：0－10ppm
灵敏度范围：600nA/ppm±200nA/ppm
在 20℃时的零电流：<±100nA
在 20℃时的分辨率：<0.25ppm
基准电位：0mv
线性性：<满量程%5
在20℃ 时的反应时间：
t50 暴露在空气中5分钟时,小于40S
t90 暴露在空气中5分钟时,小于90S
长期灵敏度飘移:<10%/月
工作条件
温度范围:-20℃~+35℃
湿度范围:15~90%RH,无凝结
湿度影响:剧烈的变化会引起零点读数的漂移
传感器期望寿命:>12月
质保期:38周
传感器对温度特别敏感,要注意传感器使用时候的试验条件及周围环境
sensoric通常通过使用HCL的交叉灵敏度来校准数据
在规定的温度范围内,传感器温度特性
a) 零点读数小于0.5ppm
b) 在 时灵敏度小于20%
20℃时的交叉灵敏度
气体 浓度 读数
醇类 1000ppm 0
氢 3000ppm 0
硫化氢 20ppm 0
氯气 1ppm 0.4
一氧化碳 100ppm 0
氯化氢 10ppm 6.6
一氧化二氮 10ppm 0
注意:
1.不同传感器干扰因素不同,寿命不同.不提倡校准干扰气体.
2.此表没有涵盖所有的气体,传感器可能会对其它气体敏感