产品概述:
HFS4000是广州昊仪自动化设备限公司采用世界领先的微机电系统（FMEMS）流量传感器技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，低压损。适用于净化空气或氮气流量监控，还可用于环境采样器（如色谱分析仪器等）
HFS4003流量传感器，管道内径为3mm，成本低测量范围最大到5SLPM；适用于粒子计数器和各类分析仪器。
HFS4008流量传感器，管道内径为8mm，测量范围最大到50SLPM；可用于麻醉设备、洁净气体检测，如：空气采样机，气体分析仪等
产品特点:
- 专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而设计
- 支持多种连接方式，易于安装与使用
- 传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量
- 在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高
- 输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压
- 零点稳定度高
- 全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性
- 低功耗、低压损
- 响应速度快
机械尺寸:
产品特点:
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性能参数 |
HFS4003 |
HFS4008 |
单位 |
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通 径 |
3 |
8 |
mm |
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最大流量 |
2, 3, 4, 5 |
10, 20, 30, 40, 50 |
SLPM |
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量程比 |
100:1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重复性 |
0.75 |
% |
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零点输出飘移 |
±30 |
mV |
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输出飘移 |
0.12 |
%/oC |
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响应时间 |
100 |
ms |
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工作电源 |
8~18Vdc,100mA |
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输出方式 |
线性，RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc |
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最大流量压损 |
100 |
600 |
pa |
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最大工作压力 |
0.5 |
MPa |
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工作温度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存储温度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作湿度 |
<95%RH（无结冰、无凝露） |
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机械接口 |
BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接头 |
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校准方式 |
空气（或其他气体），20oC，101.325kPa |
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重量 |
57（带R1/4,BSPT1/4接口） |
g |
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